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奥林巴斯

奥林巴斯创立于1919年，1920年在日本第一次成功地将显微镜商品化；在癌症防治领域起着极其重要作用的内窥镜，也是在1950年由奥林巴斯在世界上首次开发的。迄今为止，奥林巴斯株式会社已成为日本乃至世界精密、光学技术的代表企业之一，事业领域包括医疗、生命科学、影像和产业机械。奥林巴斯从创业的当初起，就一直以全球性视野挑战新价值的创造。自上个世纪60年代从美国、欧洲开始，不断积极地推进全球化战略，在数码照相机为首的影像业务领域和消化系统内窥镜等医疗业务领域，以保持高品牌力的企业在世界市场上赢得了广泛认同。

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MX61半导体检查显微镜

2009/10/12 10:30:09 阅读：610次

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产品系列名称：MX61半导体检查显微镜
产品定货号：MC-19089-00

产地：日本
品牌：奥林巴斯
推荐：

奥林巴斯

400-000-1836 转 021-54248686
手机：17721451936

MX61200mm半导体检查显微镜

产品概述：

● 大型载物台搭载：可用于400*300mm液晶基板，300mm晶圆全面检查(MX61L)
● 采用高NA的透射光聚光镜，图象更锐利
● 多种观察方式，多种照明方式，多种附件以满足不同应用要求
● 透射和反射照明可同时使用，极大提高液晶基板观察效果

技术特点：

缩短检查用时，提高检查效率
自动聚焦附件 MX-AF	透射光检查照明 MX-TILLA/MX-TILLB
MX专用的自动聚焦附件可配合所有的反射光照明观察方式，甚至包括暗视场和微分干涉相衬观察。实现快速和精确的自动对焦，甚至观察方式转换时也能实时准确的找到焦面。	两种照明装置可选，通用型及高数值孔径型。为FPD，MASK板检查提供合适的照明，并且可配备起偏镜，实现投射光简易偏光观察。
高反差，更高分辨率，更高倍率检查	用于光刻胶残留检查的荧光观察方式
共聚焦附件 U-CFU	荧光分光镜模块
共聚焦光学系统可以提供更高的反差和分辨率，分辨率可达0.18μm,并可对多层线条的器件分层对焦，获得高分辨率，高反差的共焦图像。	备有U.B.G等多种荧光方式可选，用于光颗胶残留以及OLED检查。
方便的通讯接口用于显微镜倍率和孔径光阑的控制和参数获得 RS232C	用于晶圆以及器件，甚至焊脚的内部检查近红外线观察附件
MX61/MX61L标配包括一个RS232C接口，使得用PC控制显微镜电动部分成为可能，并且可以实现使工艺线上的几台显微镜都在同样的设定状态下工作。	包括专门的红外物镜等附件，对从可见光到近红外波段光线的像差做矫正，用于IC深层或内部检查，可实现对WAFER BUMP的全面检查。

产品编号	产品名称	产品简介	产品价格
MC-19089-00	MX61半导体检查显微镜		0￥

MX61半导体检查显微镜

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