设计特点
· 热式原理
· 一体化设计
· 满量程从 5SCCM 到 1000SLPM
· 响应时间不超过 2 秒钟
· 操作压力可达 20MPa
· 对安装位置不敏感
· 316SS 材质，允许测量腐蚀性气体
· 无直管段要求
· 单电源供电
技术参数
流量范围 ：从 0-5SCCM 到 0-1000SLPM N 2 ，具体请参考表一
响应时间 ： 1 ～ 2 秒
精 度 ： ± 1% 满量程（除 114 型）； ± 1.5% 满量程（ 114 型）
再 现 性 ： ± 0.2% 满量程
量 程 比 ： 50:1 （ 2%-100% 满量程）
环境和操作温度 ： -10 ～ 70 ℃
最大操作压力 ： 3000PSIG （ 20MPa ），具体请参考表一
零点漂移：± 0.05 % 满量程 / ℃
范围漂移： ± 0.05 % 读数 / ℃
压力漂移： 0.1%/atm （相对于 N 2 ）
安装方向： 对位置不敏感
预热时间： 10 分钟
电气连接： 卡式（ 20 针）或 D 型（ 9 针）
流量信号输出：
0-5VDC （最小负载电阻 2K Ω ）；
0-10VDC （最小负载电阻 3K Ω ）；
1-5VDC （最小负载电阻 2K Ω ）；
4-20mA （请参考下面的说明）；
对于流量信号输出为 4-20mA 的负载电阻：
环路电压为 6.5-15VDC 时： 0-450 Ω
环路电压为 15-30VDC 时： 200-750Ω
供应电源 ：
电压输出：＋ 12( ± 5 ％ ) （仅适用于 0-5VDC 和 1-5VDC 流量信号输出）或 +15( ± 10 ％ )VDC
电流输出：＋ 15( ± 5 ％ ) 或 +24( ± 15 ％ )VDC
电流消耗：＜ 45mAdc
重 量 ：请参考表一
结构材质
主 体： 316SS
传感器组件 ： 316LSS
密封材质（” O ”型环）： Buna N ， EPDM ， Kalrez ? ， Neoprene ， Viton?
过程连接： 316SS

型 号	流量范围（ N 2 标定） 最小 / 最大	最大操作压力 PSIG （ MPa ）	重 量 lbs （ Kg ）
111	0-5SCCM/0-10SLPM	1500 （ 10.3 ）	0.9 （ 0.41 ）
112	0-10SLPM/0-100SLPM	1500 （ 10.3 ）	2.1 （ 0.95 ）
113	0- 100SLPM /0-500SLPM	1500 （ 10.3 ）	5.2 （ 2.4 ）
114	0-500SLPM/0-1000SLPM	1500 （ 10.3 ）	6.6 （ 3.0 ）
121	0-5SCCM/0-10SLPM	3000 （ 20.7 ）	0.9 （ 0.41 ）
122	0-10SLPM/0-100SLPM	3000 （ 20.7 ）	2.1 （ 0.95 ）
123	0-100SLPM/0-500SLPM	3000 （ 20.7 ）	10.8 （ 4.9 ）