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CX-200系列扫描电镜
CX-200系列扫描电镜
订货号: MM-16543-00
产地: 韩国
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开发编号: N
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产品描述:

CX-200TA型全自动扫描电镜:涡轮分子泵+自动台
      CX-200DA型全自动扫描电镜:油扩散泵+自动台 
       CX-200TM型半自动扫描电镜:涡轮分子泵+手动台
       CX-200DM型半自动扫描电镜:油扩散泵+手动台
“由于扩散泵对于真空环境的污染,造成仪器性能减退显著,需要提高3倍以上维护频率,对于大多数用户来说,是不愿意接受的;另外真空环境污染造成样品在高倍观察时,产生碳沉积,影响图像分辨率。因此从科学发展角度,从市场用户的实际需要出发,COXEM暂不对外出售CX-200D系列产品。”
       具有世界一流技术水平的CX-200系列高性能大型钨灯丝扫描电镜,适合多种需求类型的客户选购。
       在选购时,您唯一需要考虑的问题,工作效率:
       扫描电镜优劣评价标准,是扫描电镜的工作效率高低(这个标准是DEMA驰奔定义),仪器客观的工作效率是由仪器的软硬件决定的,当基本的功能指标都相同或者相似,其中对效率影响最大的两个因素,是真空系统的清洁程度和样品台的自动化程度。CX-200系列四个标准型号扫描电镜根据以上两个重要因素,进行组合而成。
        驰奔对扫描电镜工作效率简单分析如下:
1、搜索样品感兴趣点的速度,样品台自动化程度越高,效率越高。计算机导航坐标定位马达驱动系统要优于单纯的马达驱动,马达驱动要优于手动。对于样品全面分析检测,统计特征点,自动台体现高效率。当然如果您的样品放进去,只是选择一两个区域来照相,自动台意义不大。
2、高质量图像获得的效率:电子光学系统的自动化,或者更高的性能来提高效率。如热场发射扫描电镜看2万倍,可以在2TV扫描速度下,清晰成像,而钨灯丝大型扫描电镜看2万倍图像,要清晰成像,光保存一帧图像需要20秒以上,还不要说调整电子光学参数的功夫,如果不明就里,拿过来两个图像来比较,可能很难分出伯仲,因此有的人会说,在2万倍水平上,钨灯丝扫描电镜和场发射扫描电镜区别不大,这个前提就是忽略客户的效率需求,比如工厂做晶圆上的芯片检测,这里边就有了效率需要,虽然一般检测可能只看2万倍,但对效率提出很苛刻的要求,钨灯丝根本不能胜任。
3、系统真空获得的效率:涡轮分子泵相对扩散泵具有明显优势。
 3.1、众所周知,涡轮分子泵可随时开关机,油扩散泵开关机受到泵油升温和冷却的限制(开关机一个来回至少要等50分钟),因此要么就开一天,要么一开就至少半天,半天如果只需要做一个小样,照一张照片,那效率就更低了;除非扩散泵长期不关机,例如2-3个月,真空泵总保持启动,那么效率还是很高的,这需要特殊照顾。
 3.2、真空洁净度对效率影响:涡轮分子泵真空洁净度远远优于油扩散泵。泵油蒸汽分子,在电子束作用下分解为碳氢化物,污染样品和末级光阑。电子束扫描样品时,会被电子束诱导沉积到正在观察的样品区域表面,越高倍,沉积速度越快,污染降低se产额,从而降低成像分辨率;末级光阑在电子束作用下,最容易沉积污染物,污染的随机变化,在高倍引起的象散需要随时进行校正。往往高倍需要逐级消象散,在一个区域调节电镜参数到最佳,然后迅速电位移到就近区域扫描存储图像,这降低操作效率
 3.3、也同样是污染的原因,扩散泵真空系统扫描电镜需要的维护周期要短得多,一般建议3个月维护一次,而同样工作条件,涡轮分子泵真空系统的一般建议是1年维护一次。
  
综上所述:在一次操作周期内对效率影响最大的因素,自动化程度越高,效率越高。应该是样品台的自动化程度和真空洁净程度;电子光学性能需要定位,5000倍以下,不明显,5000倍以上就显示高分辨和自动化的优势。
通过以上简单分析,对CX-200系列型号作如下推荐,原则是不至于让您感到特别疲倦,让您专注于材料的特征观察分析。
       1、如果您有大量的样品要做,但要求管理维护简单方便,应该选择最高效率的CX-200TA型,
       2、如果您有大量的样品要做,同时可以接受较短的维护周期,可以选择CX-200DA型
       3、如果您的样品量不算大,但随时想看,又不希望花过大精力照顾扫描电镜,请选择 CX-200TM型
       4、如果您的样品量不算大,可以安排专门操作人员“照顾”扫描电镜,可以选择更加经济的CX-200DM型
      
二、CX-200系列扫描电镜主要功能特点:
        CX-200系列中档分析型扫描电镜的卓越配置
       硬件使用包括:顶级水平的电子光学系统,中型样品分析室,五轴精密或者超级精密机械对中样品台,高速涡轮分子泵真空系统或者高速油扩散泵真空系统,最先进的SMT电路板制作工艺全数字化电器设备。
       计算机及操作软件使用最新的CX-200纳米工作站,轻爽操作体验。
2.1、可实现功能:标配SE形貌像,可选配 BSE探测器成像,WDS, EDS微区元素分析,+CCD样品室监控
       2.2、基本性能特点
 (1)、分辨率( 3.0nm@ 30kv ,10nm@ 3kv),锥形物镜,长焦性能优越。
 (2)、中型样品室内部尺寸直径为210mm,可同时接配多种探测器;
        五轴精密机械对中样品台,自动或者手动控制。自动台计算机导航控制,步进电机驱动精度19nm/步,Point & Go操作,具有坐标定位系统,点击临时存储的图像,样品上的该位置能够自动返回扫描视野中心;样品上的z轴调节范围5-65mm,实现对大型样品,和很大高度梯度样品的灵活操纵,使用自动台,用户可以实现对样品更快速的评估和测量。
 (3)、真空系统为涡轮分子泵真空系统,高效清洁节能; 或者更具经济性的扩散泵真空系统。
        (4)、最新最先进制作工艺的全数字化电器控制系统,与主机集成为一体,结构紧凑,稳定可靠,与计算机通讯采用USB/PCI接口。整机可轻松在很大范围内移动。
        (5)、数字化扫描系统,实现从实时基于电视扫描高速模式到高分辨图像模式,这相对CX-100有了显著提高。在照相模式下,具有支持采集 [5120 x 3840pixel]的能力。给您提供最好的视觉质量。
        (6)、自动控制:自动电子枪最大亮度,自动聚焦,自动消象散,自动亮度对比度控制,自动电子束对中,自动电子枪加饱和,自动偏压,物镜光阑自动摇摆对中合轴,增加了倾斜补偿和自动聚焦功能。具有这些功能,用户将能够更轻松操作仪器。
        (7)、GUI操作软件:多种快捷按钮,操作简单方便,同时允许用户自定义热键,允许更高效的操作;图像灰度直方图实时显示,可以帮助用户保持最佳的图像质量;双图像显示,允许用户轻松比较不同图像的差别;产品能够使用MS-Office软件生成报告,允许用户创建数据。

 
1、高分辨率图像
    纳米工作站提供客户,从实时基于电视扫描高速模式到高分辨图像模式,这相对CX-100有了显著提高。在照相模式下,具有支持采集 [5120 x 3840pixel]的能力。给您提供最好的视觉质量。
2、自动控制
    纳米工作站具有,灯丝自动加饱和、自动亮度对比度、自动聚焦、自动消象散、自动电子枪对中等功能。具有这些功能,用户将能够更轻松操作仪器。
3、自动样品台
    当使用CX-200纳米工作站和自动样品台,这个扫描电镜将是全自动的扫描电镜。
    Point & Go 鼠标点击图像,样品移动
    纳米工作站可使用Point&Go功能控制样品移动到用户想到达的位置,从而用户可以更快速的评估和测量。(图像中心坐标位置存储在图像中)
4、灰度直方图Histogram
    纳米工作站提供实时的图像灰度直方图均衡,可以帮助用户改善图像质量。
5、使用热键和生成报告
    纳米工作站具有用户自定义热键,使用这个项目,允许用户更高效操作。同时,产品能够使用MS-Office软件生成报告,允许用户创建数据。
6、双图像显示 Dual Mode Image
    纳米工作站有两个显示屏,用户可以同时观察两幅图像(如不同部位的图像,或者双信 号图像)。允许用户轻松比较不同图像的差别。


品牌简介

韩国COXEM公司是一家专门为制造电子显微镜而成立的公司,自2007年成立以来,业务发展迅速,2011年5月在北京设立中国直销办公室,并配置专家级的扫描电镜应用工程师和维修工程…韩国COXEM公司是一家专门为制造电子显微镜而成立的公司,自2007年成立以来,业务发展迅速,2011年5月在北京设立中国直销办公室,并配置专家级的扫描电镜应用工程师和维修工程师,为中国顾客提供COXEM优质产品和服务。

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