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MX80自动化半导体检查显微镜
MX80自动化半导体检查显微镜
订货号: MM-75838-00
产地: 日本
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开发编号: N
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产品描述:

MX80 200/300mm自动化半导体检查显微镜
 
产品特性
 
● 显微镜观察所需操作基本电动化,极大提高工作效率
● 观察条件可设定并存储,使每个操作者得到最适宜自己的观察条件
● 两种尺寸载物台可选:分别用于200mm晶圆和300mm晶圆
● 内置式自动聚焦和手动聚焦两种镜体可选
 
 
技术规格
 
目镜/物镜:
UIS 目镜 F.N.26.5
UIS 物镜 物镜适配器,配合明视野物镜

显微镜镜体:
兼容镜体 适用于200/300mm晶圆观测,一个RS232C外部通讯接口。
电动对焦部件:
·垂直行程25mm;Z轴向分辨率50nm(带50倍或更高放大倍率的物镜)
·各物镜可进行对焦调节;高度限制;载物台降低(返回可设定)

反光照明:
照明(一体化)系统:
电动选择观测系统(4组分光镜选择,用于明视野法、暗视野法、偏振光和荧光照射观测)
自动聚焦(一体化)系统:
激光主动法。波长:λ=780nm,CDRH 1级兼容。
 


品牌简介

奥林巴斯创立于1919年,1920年在日本第一次成功地将显微镜商品化;在癌症防治领域起着极其重要作用的内窥镜,也是在1950年由奥林巴斯在世界上首次开发的。迄今为止,奥林巴斯…奥林巴斯创立于1919年,1920年在日本第一次成功地将显微镜商品化;在癌症防治领域起着极其重要作用的内窥镜,也是在1950年由奥林巴斯在世界上首次开发的。迄今为止,奥林巴斯株式会社已成为日本乃至世界精密、光学技术的代表企业之一,事业领域包括医疗、生命科学、影像和产业机械。奥林巴斯从创业的当初起,就一直以全球性视野挑战新价值的创造。自上个世纪60年代从美国、欧洲开始,不断积极地推进全球化战略,在数码照相机为首的影像业务领域和消化系统内窥镜等医疗业务领域,以保持高品牌力的企业在世界市场上赢得了广泛认同。

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