
| 订货号: | MM-75847-00 |
| 产地: | 日本 |
| 品牌: | |
| 开发编号: | N |
| 市场价: | ¥ |
| *此产品根据配置不同价格不同 |
| *此价格为参考价格,具体价格以订单合同为准 |
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缩短检查用时,提高检查效率 | |
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自动聚焦附件 MX-AF |
透射光检查照明 MX-TILLA/MX-TILLB |
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MX专用的自动聚焦附件可配合所有的反射光照明观察方式,甚至包括暗视场和微分干涉相衬观察。实现快速和精确的自动对焦,甚至观察方式转换时也能实时准确的找到焦面。 |
两种照明装置可选,通用型及高数值孔径型。为FPD,MASK板检查提供合适的照明,并且可配备起偏镜,实现投射光简易偏光观察。 |
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高反差,更高分辨率,更高倍率检查 |
用于光刻胶残留检查的荧光观察方式 |
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共聚焦附件 U-CFU |
荧光分光镜模块 |
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共聚焦光学系统可以提供更高的反差和分辨率,分辨率可达0.18μm,并可对多层线条的器件分层对焦,获得高分辨率,高反差的共焦图像。 |
备有U.B.G等多种荧光方式可选,用于光颗胶残留以及OLED检查。 |
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方便的通讯接口用于显微镜倍率和孔径光阑的控制和参数获得 RS232C |
用于晶圆以及器件,甚至焊脚的内部检查 近红外线观察附件 |
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MX61/MX61L标配包括一个RS232C接口,使得用PC控制显微镜电动部分成为可能,并且可以实现使工艺线上的几台显微镜都在同样的设定状态下工作。 |
包括专门的红外物镜等附件,对从可见光到近红外波段光线的像差做矫正,用于IC深层或内部检查,可实现对WAFER BUMP的全面检查。 |
DMILM倒置金相显微镜订货号:MM-08640-00
DMI3000M倒置金相显微镜订货号:MM-08647-00
DMI5000M倒置金相显微镜订货号:MM-08644-00
XJB-200型现场金相检查仪订货号:MM-02321-00
xjb-200s数字图象现场金相分析仪订货号:MM-02328-00
4XBD数码双目倒置金相显微镜订货号:MM-13944-00
DM6000M金相显微镜订货号:MM-07594-00
DM2500M金相显微镜订货号:MM-07595-00
DM4000M金相显微镜订货号:MM-07589-00
4XBC电脑双目倒置金相显微镜订货号:MM-13945-00
4XCE电脑三目倒置金相显微镜订货号:MM-13950-00
4XCZ数码三目倒置金相显微镜订货号:MM-13951-00
| 定货号 | 产品名称 | 规格配置 / 简介 | 市场价/(会员价) |
|---|---|---|---|
| MM-75847-00 | MX61L晶圆FPD检查显微镜 | /() |
