校正球
校正球为精研加工成的玻璃球。精度为≤0.05μm。用于校验转台径向精度。
精密转台
转台直径为200mm，承载工件的最大重量10kg。转台下端装有精密转轴，其转速为2.5转/分。转台上相隔90º的二个调节钮，可调节台面倾斜。调节范围±2圈（40＇）。
立柱
立柱上装有滑座，旋动升降钮可使滑座沿立柱作升降移动并可用锁紧手柄锁紧。立柱上标有位移高度指示。全程位移270mm。
传感器
传感器是旁测式电感传感器。可垂直或水平安装。测杆可在测量面内容易地转位到某一位置，装上限位装置可测断续表面。
记录器
被测工件的轮廓和相应的参考圆记录在直径为Φ150mm的火花记录纸上。圆形记录宽度为40mm。记录纸的纸动和主轴同步。
微型计算机
这是一台通用微型计算机并配有EPSON打印机。操作者只要根据需要，选择相应的菜单进行测量或分析可分别或同时选择最小区域、最小二乘、最小外接、最大内切四种方法进行评定。测量结果有圆度P+V、圆心偏心量X、Y。软件系统还附有频谱分析、定标等功能。
电子部件
面板上有8个指示灯，显示100至20000八档相应的放大倍率。有一个记录笔笔移调节钮。滤波器钮可选择滤波特性。这些滤波特性被大多数国家认证定为国家标准。