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COBRA BC 0100 E螺杆真空泵BUSCh普旭
COBRA BC 0100 E螺杆真空泵BUSCh普旭
订货号: TA-01800-00
产地: 德国
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产品描述:

产品简介
COBRA BC 0100 E 是久经考验的干式螺杆真空泵,用于疏散负载锁定腔及光伏电池、平板显示器和半导体等其他苛刻的生产流程。 该真空泵在性能级别方面具有水冷却高效、泵速最高的特点,是所有要求高效、快速和稳定真空生成应用的理想之选。COBRA 真空泵采用的是无油和非接触式技术,能够抽空含颗粒的介质。
COBRA BC 0100 E 配备了高效电机,拥有待机模式,可以实现最佳节能潜力。
COBRA BC 0100 E 结构紧凑,需要空间小,极低的能源需求也将运营成本降到最低。
应用
• 高密度等离子体 CVD (HDP CVD)
• 快速热处理 (RTP)
• 次常压 CVD (SACVD)
• 金属有机 CVD (MOCVD)
• 等离子体增强 CVD (PECVD)
• 低压 CVD (LPCVD)
• 原子层沉积 (ALD)
• 负荷锁定应用
技术说明
COBRA BC 0100 E 是一种单级双螺杆真空泵。泵缸内有两个螺杆转子旋转,密封并压缩泵介质,将其输送到出气口。在压缩过程中,螺杆转子之间不会互相接触或触碰泵缸,因此,压缩室内无需润滑剂和工作液。螺杆设计的最新开发功能是单面轴承,这种设计能够大幅降低能量消耗,预防压缩过程中气体温度过高。COBRA BC 0100 E 集成水冷系统作为标准配置,能使真空泵内温度分布均匀。
品牌介绍
普旭是一家生产真空泵、鼓风机和压缩机的跨国企业。
公司拥有超过45年的专业经验以及众多优秀员工,并一直以"前瞻性"的眼光努力地改善产品和自身。普旭始终坚持不懈地进行创新性的工作以开创未来的真空世界。
普旭拥有最现代化的生产工艺、机械、设备,所有的质量控制都远远超出了DIN EN ISO 9001 的要求。
位于43个国家的 58个分公司,以及位于30 多个国家的代理商。全球分布策略为客户的成功提供了更高效的服务。
个性化的专业咨询,产品的选择,迅捷的现场服务,是普旭实现这个目标的关键因素,以及在各种专业应用领域的丰富经验、知识和产品设计也为实现这个目标提供了基础。
普旭总部位于德国马尔堡。除了普旭控股公司以外,还有德国的制造厂,普旭产品公司,销售组织, Dr.-Ing. K. Busch 有限公司和服务公司。除此之外,Busch还有位于瑞士、英国、丹麦、美国的5家制造厂。


品牌简介

Busch 真空泵及真空系统是全世界最大的真空泵、鼓风机以及压缩机的厂商之一。我们的产品系列涵盖了广泛应用于所有工业领域的真空和正压技术解决方案。 凭借在真空泵及低压…Busch 真空泵及真空系统是全世界最大的真空泵、鼓风机以及压缩机的厂商之一。我们的产品系列涵盖了广泛应用于所有工业领域的真空和正压技术解决方案。 凭借在真空泵及低压泵制造领域50多年的经验,Busch 可提供种类齐全的产品,为全世界提供最广泛的工业真空技术。

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