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通过检测样品被X射线激发时产生的特征谱线对元素的种类及含量进行分析。待测样品可以是固体、粉末、熔融片,液体等,可分析F(9)~U(92)之间所有元素。X射线荧光光谱仪具有重现性好、测量速度快、灵敏度高、对样品无损伤等特点,主要适用于机械、冶金、矿山、水泥、陶瓷、石油、玻璃、电子元器件、塑料制品等行业对元素含量的检测及镀层厚度的分析,常用的有手持式光谱仪及台式光谱仪。
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