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VELA 3 XMU聚焦离子束可变真空扫描电镜
VELA 3 XMU聚焦离子束可变真空扫描电镜
订货号: MM-76700-00
产地: 捷克
品牌:
开发编号: N
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产品描述:

TESCAN总部坐落在捷克共和国布尔诺市,作为全球范围内的科学仪器制造商,TESCAN专注于于研究、开发、制造扫描电子显微镜及其相关附件和特殊产品,为建立在扫描电子显微镜以及针对不同应用的相关系统解决方案领域内的品牌做出不懈努力。
分辨率
 高真空(二次电子)
 低真空(背散射电子)
      (低真空二次电子)
3.5nm(30kV),10nm(3kV);  FIB <5nm(30kV)2.0nm(30kV)
4nm(30kV) 
 工作真空
 低真空模式
 电子枪真空
离子枪真空

7-500Paa
<3×10-7 Pa
<5×10-6 Pa 
 电子光学工作模式
分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样
 放大倍率
3x-1,000,000x(SEM);150x-1,000,000x(FIB) 
 加速电压
200V至30KV(SEM);1KV至30KV(FIB) 
 电子枪
钨灯丝(SEM);液态金属镓离子源(FIB) 
 探针电流
1pA至2μA(SEM);1pA至40nA(FIB) 
 扫描速度
从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整
 聚焦窗口
形状、尺寸和位置连续可调 
 扫描特性
动态聚焦,聚焦窗口,点和线扫描,倾斜校正,实时三维图像
 图象尺寸
最大可达8192×8192像素,图象比例可选1:1、4:3或2:1。
 显微镜控制
通过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作VEGA TC软件,所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现
 自动程序
专利的实时电子束追踪技术自动最优化电子束,根据放大倍数优化束斑(BI OptiMag),自动聚焦&消象散,自动调整对比度&亮度,自动调整扫描速度(根据信噪比),自动调整饱和电流,电子枪合轴,透镜&光阑对中,真空控制,加速电压的补偿,灰度级调整
 远程控制
通过TCP/IP
样品室
内部尺寸
300mm宽×330mm深
 门宽
280mm宽×310mm深 
 接口数量
13+  
 样品室减振方式
内置气垫减振
+ 可根据客户需求调整接口数量和位置。
样品载台
类型
全电脑化优中心


 移动范围

X=130mm —— 马达驱动
Y=130mm ——马达驱动 
Z=100mm —— 马达驱动
旋转:360°连续可调——马达驱动

倾斜:-30°到+90°——马达驱动
 样品高度
最大139mm 
软件
标配:测量软件, 定位软件,图象处理,三维扫描,硬度测量,多图校正,投影面积,打印放大倍率,关机定时器,公差测量
选配:形态学,颗粒度分析,自动抓图,图象观测,电子束写入,鼠标连接


品牌简介

TESCAN是一家捷克的私营有限责任公司,位于捷克第二大城市Brno,主要研发和生产扫描电子显微镜。TESCAN公司的前身是Tesla公司,从1951年就开始制造电子显微镜。TESCAN公司旗…TESCAN是一家捷克的私营有限责任公司,位于捷克第二大城市Brno,主要研发和生产扫描电子显微镜。TESCAN公司的前身是Tesla公司,从1951年就开始制造电子显微镜。TESCAN公司旗下集合了多位掌握着先进电子显微技术、经验丰富的科学家,有着多年电镜领域工作经验的研发技术工程师,以及高学历的、富有创新精神的年轻人。TESCAN在1994年被授予捷克共和国年度最具创新精神企业的称号。TESCAN 致力于电镜及相关附属设备的研发、生产和销售已达十余年。

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