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KOSAK ET200台阶仪
KOSAK ET200台阶仪
订货号：MM-01358-00

400-000-1836
分机：801
产地：日本
品牌：
开发编号： N
* 此产品根据配置不同价格不同
* 此价格为参考价格，具体价格以订单合同为准
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产品描述：

与AFM 的差异最主要是触针形状不同，ET(俗称Alpha-step)是R 2um/60度钻石制、AFM 是蚀刻制，故几乎无角度。也因此若纯粹膜厚两种都OK，差异是有些细微表面ET掉不进去，故nm以下的表面粗度则以AFM为主。
主要特性
一. 极佳再现性与线性度
再现性• • • 可达0.1nm
线性度• • •针对不同厚薄样品，使用同一感度
二. 高解析度
高解析度• • •特别是针对thin film更佳
纵轴最高解析度0.1nm
横轴最高解析度0.01um
可测定微细形状
三. 低测定力
低测定力• • •效果可比拟非接触
测定力10 ~ 500uN、1~50mgf 可任意设置
可测定软质材料面，如：ITO、COLOR FILTER、SPACER、PI…等
四. 超高真直度
超高真直度• • •可测定试片之长距离测定
追溯性：通过认证工厂，可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ，产品出厂皆检附出厂校正报告
高机械真直度精度保证：
局部0.005um/5mm、全域0.2um/100mm可测定试片之长距离测定,例如:平面度、波纹度、翘曲度、内应力等等
真直度保证• • •确保测定图形不受影响
五. 即时监控量测位置
即时监控量测位置• • •可易辨认微小样品
配备标准CCD：即时监控量测位置
可选购TOPVIEWCCD，执行高精度定位量测
六. 形状及粗度解析
形状及粗度解析
粗度规范对应：可对应各种国际新旧标准规范，测定参数多达60种
可测定段差及PITCH量测
七．可扩充成三次元设备
形状及粗度解析
粗度规范对应：可对应各种国际新旧标准规范，测定参数多达60种
可测定段差及PITCH量测
主要客户
高校及研究单位:机械、材料、化学、
光电、校正中心。
民间企业:光电(TFT、CF、STN、TP、
LED、OLED) and 半导体。
KOSAK ET 200主要规格：


品牌简介

日本小坂日本小坂
株式会社小坂研究所（KOSAKA）于1950年创立，是日本第一家生产光学杠杆表面粗糙度计，具有悠久历史与技术背景的专业厂商，主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为最具…株式会社小坂研究所（KOSAKA）于1950年创立，是日本第一家生产光学杠杆表面粗糙度计，具有悠久历史与技术背景的专业厂商，主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为最具代表性单位且在日本精密测定也占有一席无法被取代的地位。
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